پمپ مغناطیسی نیمه هادی

 

HD100Rپمپ مغناطیسی نیمه هادییک تجهیزات انتقال حرفه ای است که برای صنعت نیمه هادی ساخته شده است-. با داشتن ساختار محرک مغناطیسی بدون مهر و موم، نشتی صفر و آلودگی خارجی صفر را در طول عملیات ارائه می‌کند و به طور کامل نیازمندی‌های تمیزی سطح بالا کارگاه‌های نیمه‌رسانا را برآورده می‌کند.

قسمت های خیس شده این پمپ مغناطیسی PTFE برای نیمه هادی ها از PTFE با خلوص بالا{{0} ساخته شده است که در برابر مواد شیمیایی نیمه هادی بسیار خورنده بدون رسوب یونی یا نفوذ متوسط ​​مقاومت می کند. مواد شیمیایی خاص مانند محلول‌های حکاکی، محلول‌های تمیزکننده و معرف‌های{2}}با خلوص بالا را با خیال راحت انتقال می‌دهد. بدنه پمپ آزاد مرده-فضای-یکپارچه با سطح براق{6} بالا امکان تمیز کردن کامل را فراهم می‌کند و به طور موثر از باقی مانده‌های متوسط ​​و آلودگی متقاطع جلوگیری می‌کند. به عنوان یک پمپ مغناطیسی قابل اعتماد برای مواد شیمیایی نیمه هادی، به طور پیوسته با لرزش کم کار می کند و از عملکرد مداوم 24{11}ساعته پشتیبانی می کند. به طور گسترده در ساخت ویفر، بسته بندی تراشه و فرآیندهای مرطوب نیمه هادی استفاده می شود، به عنوان یک دستگاه اصلی برای انتقال مواد شیمیایی خورنده با خلوص بالا در بخش نیمه هادی ها عمل می کند.

 

 

 

 

مدل	رابط لوله		رابط مارپیچیR-M RX-MRZ-M		حداکثر ظرفیت (L/min)	حداکثر سر (متر)	وزن مخصوص	موتور		وزن (کیلوگرم)
	ورودی (میلی متر)	خروجی (میلی متر)	ورودی/خروجی	ابعاد اتصال (میلی متر)	50 هرتز / 60 هرتز	50 هرتز / 60 هرتز		خروجی (w) 50Hz/60Hz	فاز
HD100R	26	26	G1	20	120/135	8.6/11.9	1.2	260/265	1 یا 3	8.1

 

 

 

 

1. PTFE با خلوص- یکپارچه با مقاومت در برابر خوردگی عالی

قسمت های خیس شده این پمپ مغناطیسی PTFE برای نیمه هادی ها به طور یکپارچه فشرده سازی شده-با PTFE ضخیم- با خلوص بالا قالب گیری شده است. در مقایسه با پمپ های PTFE معمولی، دارای مقاومت بسیار بهبود یافته در برابر نفوذ مواد شیمیایی بسیار خورنده و مقاومت در برابر فشار بالاتر است. این به طور کامل برای تحویل طولانی‌مدت محلول‌های اچینگ با غلظت بالا و نوارها برای نیمه‌رساناها قابل استفاده است و از لایه‌برداری، برآمدگی و بارش یونی جلوگیری می‌کند.

 

2. ساختار جریان بالا برای تحویل پایدار

ماژول هیدرولیک{0}}جریان زیاد سفارشی برای خطوط نیمه هادی تولید انبوه- طراحی شده است. این یک محدوده جریان گسترده تر و خروجی فشار پایدار برای تامین مایع برای چندین خط فرآیند مرطوب به طور همزمان ارائه می دهد، و مشکلات هد ناکافی و نوسانات شدید جریان پمپ های مغناطیسی معمولی را در شرایط جریان بالا حل می کند.

 

3. بار بالا-سیستم محرک مغناطیسی کاملاً مهر و موم شده

این پمپ مغناطیسی برای مواد شیمیایی نیمه هادی با اجزای جفت مغناطیسی تقویت شده ارتقا یافته برای ظرفیت گشتاور بالاتر نصب شده است. همراه با محفظه کاملاً مهر و موم شده ضد گرد و غبار-ضد خوردگی، عملکرد مداوم-بار{3}} طولانی مدت را حفظ می‌کند و ذرات معلق در هوا و گازهای خورنده را در کارگاه‌های بدون گرد و غبار-برای محافظت از قسمت‌های انتقال هسته جدا می‌کند.

 

4.-ظرفیت بزرگ-فضای مرده-طراحی حفره آزاد

حفره بزرگ شده HD100R انتقال صاف بهینه را بدون گوشه های مرده احتباس مایع اتخاذ می کند. دیواره داخلی{2}}براق آن، تمیز کردن خط را سریع‌تر و کامل‌تر می‌سازد. ایده آل برای تحویل متناوب مواد شیمیایی نیمه هادی مختلف، از خطرات آلودگی متقابل کاملاً جلوگیری می کند.

 

5. ساختار مقاوم در برابر فشار بالا برای شرایط پیچیده خط لوله

محفظه پمپ و قطعات اتصال برای فشار بالا، با ظرفیت تحمل فشار بهتر نسبت به مدل های مشابه تقویت شده است. با خطوط لوله پیچیده، تحویل در مسافت‌های طولانی و فشار نوسان خط لوله در کارگاه‌های نیمه‌رسانا سازگار است و بدون نشتی یا تغییر شکل به‌طور پایدار عمل می‌کند.

 

 

● حمل و نقل{0}}اسید هیدروفلوریک با غلظت بالا-برای حکاکی ویفر از راه دور

مواد PTFE ضخیم‌شده قالب‌گیری شده یکپارچه-از HD100R در برابر نفوذ طولانی‌مدت اسید هیدروفلوئوریک مقاومت می‌کند و از لایه‌لایه شدن پوسته و برآمدگی در حین حمل و نقل با فشار بالا در مسافت‌های طولانی جلوگیری می‌کند.

 

● تامین مایع متمرکز برای خطوط تولید فرآیند مرطوب نیمه هادی موازی

این پمپ مغناطیسی صنعتی نیمه هادی که به یک ماژول هیدرولیک با جریان بالا{0} اختصاصی مجهز شده است، دارای تضعیف بسیار کم هد تحویل و سرعت جریان است. این می تواند به طور مستقل مایع بیش از 3 خط تولید تمیز کردن و حکاکی را تامین کند و جایگزین استقرار موازی چند پمپ مغناطیسی جریان کوچک-می شود.

 

● حمل و نقل متناوب مواد شیمیایی اسید-تنوع برای نیمه هادی ها

با یک حفره آزاد-فضای مرده-صاف و منبسط شده و دیواره داخلی براق{2} بالا، پس از تمیز کردن آنلاین هیچ اثر شیمیایی باقی نمی‌گذارد و از آلودگی متقاطع در هنگام تحویل متناوب محلول‌های اچینگ و بره‌کن‌ها و تطبیق با شرایط کاری تعویض مکرر شیمیایی کاملاً جلوگیری می‌کند.

 

 

 

مدل	W	H	L	a	b	c	h	e	f	g	i
HD100R	156	174	335	70	100	110	74	65.5	44	147	4-9*27

 

 

 

تگ های محبوب: پمپ مغناطیسی نیمه هادی، تولید کنندگان پمپ مغناطیسی نیمه هادی چین، تامین کنندگان، کارخانه, پمپ انتقال مواد شیمیایی خطرناک, پمپ مغناطیسی بدون نشتی برای صنعت گاز, پمپ مغناطیسی برای محلول ترشی, پمپ مغناطیسی برای مواد شیمیایی نیمه هادی, پمپ مغناطیسی نیمه هادی